半導体、液晶などのエレクトロニクス分野において使用される多種多様な特殊ガスや特殊ケミカル品を幅広く取り扱っています。これらケミカル材料を半導体製造装置へ安全かつ安定的に供給するための供給システムや精製・処理装置までをラインナップし、多様化・複雑化する最先端のニーズにお応えします。

特殊ガス

特殊ガスの多くは、半導体や液晶、太陽電池などの製造プロセスにおいて、膜形成やクリーニング、エッチングなどの用途で主に使用されています。エア・ウォーターでは、米国をはじめ海外から輸入した特殊ガスを、国内の特殊ガスセンターで品質管理し、全国のお客様にお届けしています。

エア・ウォーターが取り扱う特殊ガスの種類

  • セレン化水素(H\( \sf _2 \)Se)
  • 六フッ硫黄(SF\( \sf _6 \))
  • 八フッ化シクロブタン(C\( \sf _4 \)F\( \sf _8 \))
  • 六フッ化エタン(C\( \sf _2 \)F\( \sf _6 \))
  • 四フッ化炭素(CF\( \sf _4 \))
  • ジフルオロメタン(CH\( \sf _2 \)F\( \sf _2 \))
  • ペンタフルオロエタン(C\( \sf _2 \)HF\( \sf _5 \))
  • ゲルマン(GeH\( \sf _4 \))
  • 高純度亜酸素化窒素(N\( \sf _2 \)O)

ほか 

特殊ケミカル品・供給システム

シリコン半導体の前工程に用いられる特殊ケミカル品やLEDやパワーデバイス・高周波デバイスなどの化合物半導体の製造プロセスに使用される特殊ケミカルを取り扱っています。ヴェルサムマテリアルズ社(旧名エア・プロダクツ)やメルクパフォーマンスマテリアルズ (旧名SAFC Hitech)のほか、世界中の特殊ケミカル品のパートナー企業と供給契約を結び、さまざまなプロセス材料を取り揃えています。

また、半導体の製造に使われるケミカル材料を半導体製造装置へ安全かつ安定的に供給するための特殊ケミカル関連機器も取り扱っています。ヴェルサムマテリアルズ社(VM,旧APCI)が製造する高純度ケミカル供給装置(ケムガード)など、ケミカル材料の性状(毒性、可燃、腐食、蒸気圧)およびお客様のご要望に合わせた仕様をラインアップしています。また、使用するケミカル蒸気量を制御する恒温槽や流量コントロールシステムなど、幅広い提案を行っています。

特殊ケミカル

特殊ケミカル供給システム

開発・受託成膜

開発向け成膜装置(ALD、CVD装置など)や分析機器(XRR、SEMなど)を保有し、新規特殊ケミカルなどの開発、材料スクリーニングを実施しています。これら設備と長年培ってきた成膜技術で受託成膜やプロセス評価検討などの開発サポートも積極的に行っています。