産業ガス関連事業

ガス精製・排ガス処理装置

ガス精製、排ガス処理のテクノロジーで安心・安全をサポート

半導体製造に欠くことの出来ないガス精製技術および排ガス処理技術分野での数多くの実績を有する日本パイオニクス(株)を中心に、更に多様化するニーズに多彩な技術と最新鋭設備でお応えします。

ガス精製装置

半導体の製造工程においては、各種の材料ガス・キャリアガスが使用されます。良質な半導体を形成するために、ガスの種類に応じた最適な精製装置をご提案します。パラジウム合金透過膜式水素精製装置や、最新の常温吸着式VPEシリーズをはじめ、ゲッター式、深冷式をラインアップしています。

常温吸着式空気精製装置

排ガス処理装置

半導体製造において使用されるガスの多くは、可燃性、自燃性、腐食性、毒性などの特性を持つため、安全かつ確実に無害化処理を行うための排ガス処理装置(除害装置)をご提案します。数多くの実績を有した乾式除害装置を中心に、使用条件に応じた多数の製品を取り揃えています。

  • 乾式排ガス除害装置
  • 緊急保安装置

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  • 日本パイオニクス株式会社

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