産業ガス関連事業

特殊ケミカル

エア・ウォーターではシリコン・化合物半導体の製造プロセスに使用される特殊ケミカルを取り扱っております。絶縁膜形成やドーピング、精密洗浄、エピタキシャル成長などのプロセスに対し、各特殊ケミカルを提案することで、半導体・エレクトロニクス産業の高度化に貢献しています。
エア・ウォーターでは、ヴェルサムマテリアルズ社(旧名エア・プロダクツ)ならびにメルクパフォーマンスマテリアルズ (旧名SAFC Hitech)、その他パートナー企業と供給契約を結び、つくば特殊化学品センターで厳重な品質管理の下に管理し、お客様にお届けしています。

シリコン半導体

シリコン半導体の前工程(洗浄や成膜など)に用いられる特殊ケミカルの輸入・販売を行っています。20社以上の半導体メーカーへの供給実績があり、高品質な材料を安定供給しています。量産用の材料から次世代に向けた開発用の最先端材料まで、幅広く取り揃えています。

ヴェルサムマテリアルズ(旧名エア・プロダクツ)製品

半導体プロセスについて豊富な知識を活かして特殊材料を展開しているヴェルサムマテリアル社の特殊ケミカルは、半導体製造におけるさまざまなプロセスに不可欠な製品として、世界各地の半導体工場で使用されています。ドーピングに使用されるオキシ塩化リン(POCL3)などをはじめ、様々なプロセスで使用される最先端の特殊ケミカルを幅広く取り揃えています。

その他製品

エア・ウォーターは20年以上かけて築いた世界中の特殊ケミカルメーカーとの関係により、様々なプロセス材料を取り扱っております。

取り扱う製品の種類

化合物半導体

LEDやパワーデバイス、高周波デバイス、認証用センサー、ヘッドマウントディスプレー(HMD)などの化合物半導体製品では新たなデバイスの開発・実用化が着々と進んでいます。これら化合物半導体製品は高純度有機金属材料(MO)とMOCVD装置を用い、ガリウム、アルミニウム、インジウムの窒化物などを積層することで作成されています。エア・ウォーターはつくば特殊化学品センターで厳重な品質管理を行い、独自のソリューションシステム、多様な容器ラインナップ、細かな供給体制で全国のお客様に製品を提供致します。

取り扱う製品の種類

開発・受託成膜

開発向け成膜装置(ALD、CVD装置など)や分析機器(XRR、SEMなど)を保有し、新規特殊ケミカルなどの開発、材料スクリーニングを実施しています。これら設備と長年培ってきた成膜技術で受託成膜やプロセス評価検討などの開発サポートも積極的に行っています。

所有装置

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