事業・製品 産業ガス関連事業

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エレクトロニクス装置

大気圧プラズマ表面処理装置

豊富なプロセスガスの供給と処理対象に応じた2つのプラズマ発生装置

大気圧プラズマとは、従来は真空プロセスが必要であった「プラズマ」(ガス中の原子や分子がエネルギーの高い電子やイオンに解離した状態)を大気圧下で安定して発生させる技術です。極めて活性なため低温での処理が可能であり、また、薬液などを使用しないため、環境にやさしく生産性に優れた表面改質方法です。
エア・ウォーターでは、この大気圧プラズマ技術を確立し、フィルムを高速・連続に処理する「ダイレクト型表面処理装置」と、ガラスや基板にプラズマを吹き付けて洗浄する「リモート型表面処理装置」の2方式の装置を開発しました。これまで蓄積した各種産業ガスアプリケーションとの組み合わせにより、製品の品質と生産性の向上を実現する新しいソリューションをご提案します。

用途

表面改質 フィルム・樹脂の接着性改善、塗工性改善、濡れ性制御、撥水性付与
洗浄 液晶用ガラス、Siウェハー、電子部品の洗浄
表面のエッチング 有機物汚れやレジストの除去
CVDによる薄膜形成 機能性薄膜の合成
適用事例
基板の洗浄
ディスプレイ(液晶・有機EL)や太陽電池などのレジスト塗布前洗浄
医療用部材への応用
医療用レンズや点滴用チューブ、カテーテルへの適用
フィルム、基板の接着性、濡れ性改善
携帯電話などに用いる電子基板
基板の親・撥水処理
ディスプレイ用基板のインクジェット印刷前の表面の親・撥水処理

エア・ウォーターの大気圧プラズマ表面処理装置の特長

ダイレクト・リモート両方式の2方式(業界初)
  • 電源・電極の独自開発による高速処理、高生産性
  • 放電室構造の独自設計による小型化、軽量化、高メンテナンス性
  • 窒素ガス(N2)使用による低ランニングコスト(ダイレクト方式)
豊富な添加ガス技術
  • 目的に応じた表面材料設計を実現(親水性~撥水性)
  • フィルムや材料ごとのガス組成技術、制御技術のノウハウを蓄積
  • 排ガス処理の対応も可能
特殊な形状にも対応した独自技術
  • チューブ内面、外面の表面処理
  • 粉体の表面処理

ダイレクト型表面処理装置

用途
  • フィルムの濡れ性改善、接着性改善
特長
  • 安価な窒素ガス(N2)でも均一処理可能(低ランニングコスト)
  • 小型、軽量、コンパクト
  • 高速、連続処理で高スループットを実現
  • ガス種のノウハウ蓄積であらゆる表面改質に適応
仕様
処理速度 最大 50m/min
フィルム幅 最大 2,000mm
フィルム厚 10 ~ 125 μm
プロセスガス 窒素、アルゴン、ヘリウム、酸素、その他ガス多数
適用分野例
  • フレキシブル回路板(FPC)用ポリイミドの銅箔接着前処理
  • 液晶ディスプレイ用光学フィルムの塗工前処理
    (偏光フィルム、反射防止フィルムなど)
  • 太陽電池モジュール裏面シート用
  • フッ素系フィルムの接着前処理

リモート型表面処理装置

用途
  • 液晶ガラス・基板の洗浄
特長
  • 安価な窒素ガス(N2)を使用(低ランニングコスト)
  • インライン・高速洗浄
  • メンテナンスフリー
  • 大型化対応(~2,500mm)
仕様
液晶ガラス世代 第5世代(5G) 第8世代(8G)
プラズマ照射幅 1,200 mm 2,500 mm
ユニットサイズ
L 1,400 mm ×
W 300 mm ×
H 300 mm
L 2,700 mm ×
W 300 mm ×
H 300 mm
所用~電力 5 kW 10 kW
プロセスガス 窒素+酸素、窒素+乾燥空気
適用分野例
  • 液晶・PDPガラスのレジスト塗布前洗浄
  • 電子部品のポンディング前洗浄
  • フィルム・樹脂成形体の接着性改善処理
サンプルテストについて

エア・ウォーターでは、表面処理のご要望に応えるために、サンプルテストを実施しています。
詳しくは、ページ下部の「製品・技術・サービスに関するお問い合わせ」からお問い合わせください。

受託処理について

エア・ウォーターグループのイーシー化学(株)では、大気圧プラズマによるフィルムや基板などの表面改質受託処理サービスを提供しています。クラス1000のクリーンルームに受託処理用・テスト処理用のダイレクト型表面処理装置2機を有し、お客様のニーズに合わせたプラズマ処理を実施しています。

フィルム受託処理装置仕様(最大能力)
フィルム幅 300 ~ 1,300 mm
フィルム厚 ~ 125 μm
フィルム巻径 最大直径 600mm
フィルム重量 最大 300kg
対応コアサイズ 3inchおよび6inch、コア長~1,350mm
サンプルテスト 対応可
処理面 両面
基板受託処理装置仕様(最大能力)
基板幅 ~ 700 mm
基板長 ~ 1,000 mm
基板厚 ~ 10 mm
サンプルテスト 対応可
処理面 片面、両面

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