特殊ケミカル関連機器

半導体の製造に使われるケミカル材料を、半導体製造装置へ安全に、かつ安定的に供給するための特殊ケミカル関連機器を取り扱っています。ケミカル材料の性状(毒性、可燃、腐食、蒸気圧)およびお客様のご要望に合わせた仕様をラインアップしています。その他、使用するケミカル蒸気量を制御する恒温槽等も準備しており、幅広い提案を行っています。

特殊ケミカル供給装置

特殊ケミカル製造メーカーとして豊富な知識を持つ米国ヴェルサムマテリアルズ社(VM,旧APCI)が製造する高純度ケミカル供給装置(ケムガード)を販売しています。当社では納入、立上げ、メンテナンスの他、お客様のご要望に応じた仕様変更等のトータルサービスを行っています。また、当社設計のオリジナル供給機器についても対応いたします。

エア・ウォーターが取り扱う高純度ケミカル供給機器の種類

  • CG100:TEOS,TEB,TEPO他(汎用ケミカル)※標準モデル:VM製
  • CG200:BTBAS,BDEAS ※特殊バルブシート材使用:VM製
  • CG300:3DMAS他 ※禁水性、腐食性ケミカル対応:VM製
  • CG400:TMA他 ※自然発火性ケミカル対応:VM製
  • CG500:TEMAHf,Zr材料他 ※ソルベントパージ機能付:VM製
  • MOsupply:有機金属他 ※シングルタンク対応:AWIオリジナル
  • SS8:汎用ケミカル他 ※シングルタンク対応簡易版:AWIオリジナル
  • PVRefill:POCl3他 ※テフロン仕様、シングルタンク対応:AWIオリジナル
  • BCD:大容量(200L)TEOS供給:AWIオリジナル

特殊ケミカル温度制御装置

特殊ケミカルの温度を一定に制御するVM製恒温槽(VaporGuard)を販売しています。特にバブリング供給中に生じるケミカル温度の変動を極力抑えることができます。

エア・ウォーターが取り扱う特殊ケミカル温度制御装置の種類

  • RVG300W:Trans-LC、POCl3他 ※石英容器対応:VM製
  • RVG600W:汎用ケミカル他 ※ステンレス容器対応:VM製

流量コントロールシステム(酸化、拡散工程用)

オキシ塩化リン等の拡散剤のバブリング供給流量をコントロールする当社オリジナルシステム(MDOTPlus)を販売しています。ケミカル温度、キャリアガス流量、バブラー内圧力を制御し、従来得られなかった安定したケミカル蒸発流量のコントロールを実現しました。
※従来のMDOT(旧APCI製)からの置き換えとしても対応できます。

エア・ウォーターが取り扱う流量コントロールシステムの種類

  • MDOTPlus:POCl3、BBr3 ※石英容器対応:AWIオリジナル