わたしたちの身の回りにあるスマートフォンやタブレット、パソコンなどに搭載される各種エレクトロニクスデバイスの製造には多種多様な産業ガスが欠かせません。
エア・ウォーターでは、そうした各種エレクトロニクスデバイスの製造に使用される、さまざまな特殊ガスを幅広く取り扱っています。一口に特殊ガスと言っても非常に多くの種類がありますが、取り扱う特殊ガスの多くは、半導体や液晶、太陽電池などの製造プロセスにおいて、膜形成やクリーニング、エッチングなどの用途で主に使用されています。
エア・ウォーターでは、米国をはじめ海外から輸入した特殊ガスを、国内の特殊ガスセンターで品質管理し、全国のお客様にお届けしています。

エア・ウォーターが取り扱う特殊ガスの種類

  • セレン化水素(H\( \sf _2 \)Se)
  • 六フッ硫黄(SF\( \sf _6 \))
  • 八フッ化シクロブタン(C\( \sf _4 \)F\( \sf _8 \))
  • 六フッ化エタン(C\( \sf _2 \)F\( \sf _6 \))
  • 四フッ化炭素(CF\( \sf _4 \))
  • ジフルオロメタン(CH\( \sf _2 \)F\( \sf _2 \))
  • ペンタフルオロエタン(C\( \sf _2 \)HF\( \sf _5 \))
  • ゲルマン(GeH\( \sf _4 \))
  • 高純度亜酸素化窒素(N\( \sf _2 \)O)

ほか