産業ガス
装置・機器・資材
提供会社:エア・ウォーター・メカトロニクス(株)
その他ガス関連機器
エア・ウォーター・メカトロニクス(株)では、その他ガス関連機器を取りそろえております。
<パイオファインカートリッジ MODEL-PF>
独自に開発した触媒により、各種半導体用ガス精製に優れた性能を発揮します。精製筒、高性能フィルターおよびダイヤフラムバルブの一体構造によるコンパクト化を実現、よりユースポイント近くでの精製が可能です。
<ラインフィルター XLFM 0.01μm対応小型テフロンメンブラン>
ラインフィルター ULFB06 0.09μm対応汎用小型テフロンメンブラン
本フィルターは半導体用ガスフィルターとして、当社がクリーンガス供給システムに関する技術を基に開発した、高性能なインラインガスフィルターです。