表面改質・洗浄装置なら
大気圧プラズマ
製品の品質と生産性の向上を実現する
新しいソリューションをご提案します。
当社大気圧
プラズマの強み
01
多種多様な放電形態
をご用意
当社大気圧
プラズマの強み
02
お客様に合わせたガスのご提案、
安心のガス供給体制
大気圧プラズマとは
大気圧プラズマとは、従来は真空プロセスが必要であった「プラズマ」（ガス中の原子や分子がエネルギーの高い電子やイオンに解離した状態）を大気圧下で安定して発生させる技術です。極めて活性なため低温での処理が可能であり、また、薬液などを使用しないため、環境にやさしく生産性に優れた表面改質方法です。
大気圧プラズマ処理装置の
ラインナップ
バラエティに富んだ放電形態をご提供
大面積の被処理物や立体形状へも適用可能
リモート型
平行平板電極間で放電を発生させガスの流れによって下の基板に吹き付けることにより、瞬時に表面の汚れや残渣を除去。
特長
- ・窒素を使用
- ・大型化対応（〜2500mm）
- ・メンテナンスフリー
- ・インライン
- ・ダメージフリー
- ・高速洗浄
用途
- ・フィルムや基板の濡れ性改善、接着性改善
- ・ガラス、金属、回路基板の洗浄
ダイレクト型
2枚の平行平板電極間でプラズマを発生させ、その間に基板を送入することで、均一な親水処理や撥水処理を行う。
特長
- ・高速、連続処理で高スループットを実現
- ・希ガスや窒素による高速均一処理
- ・大面積に対応
- ・撥水処理が可能
用途
- ・樹脂基板やフィルムの親水/撥水処理
- ・回路基板の表面洗浄
チューブ型
当社が開発した独自の特殊電極ユニットによって、チューブの内面・外面を選択的に親水処理することが可能。
特長
- ・多種多様なチューブに対応
- ・内面／外面選択処理
- ・φ1~100mmまで対応可能
- ・リールtoリール搬送
- ・２種類の放電形式を保有し、チューブ径に応じて適する方式を選択可能
用途
- ・チューブ内面、外面の親水処理
- ・カテーテルの親水処理
サンプルテスト
最適ガス種、ガス供給、排ガス処理を含めた
トータルシステムの提案をいたします。
お役立ち情報
よくある質問
Qプラズマとは何ですか？
A
固体、液体、気体に続く第4の状態と言われており、ガス中の原子や分子がエネルギーの高い電子やイオンに解離した状態です。身近なものでは、オーロラや雷がプラズマ状態に該当します。非常に活性な状態のため、基材の表面に触れることで様々な現象が起こります。
Qプラズマの発生機構はどのようなものですか？
A
１対の電極に高周波・高電圧を印加すると電極間でプラズマが発生します。
電極には誘電体が貼り付けられており、グロー放電と呼ばれる均一な放電が可能です。
Q大気圧プラズマで何ができますか？
A
基材表面の親水化や接着性改善等の表面改質が可能です。接着材の塗布前処理、コーティング前処理、塗装前処理など、様々な場面での前処理として多く用いられています。