アルゴン回収精製装置 VA装置
VAの特長
エア・ウォーターでは、Si引上炉などから排出されるArガスを回収精製する装置の開発を行っています。
Vシリーズの思想を継承し、LN注入方式の採用、ノンフロン化、特殊真空断熱の採用などにより、低環境負荷・地球資源循環を実現しています。
VA装置のフロー
【アルゴンガス回収事例】
| 組成 | 製品ガス |
|---|---|
| O2 | <0.5ppm |
| N2 | <0.5ppm |
| H2 | <0.5ppm |
| CO | <0.5ppm |
| CO2 | <0.5ppm |
| CH4 | <1ppm |
| H2O | <1ppm |
| 流量 | 300Nm³/h |
| 回収率 | >95% |
