大気圧プラズマ技術
特徴
- マルチガステクノロジ－
工業ガス会社の知見を最大に活かして、あらゆる表面改質に対応。 - 独自の電源、電極技術で高速処理を実現。
- 豊富なバリエーション
片面、両面いずれの処理にも対応可能。 - 大面積処理が可能（～3000mm）
用途
- 表面改質
樹脂の表面改質（接着性改善、塗工性改善、濡れ性制御、撥水性付与）
無機物の表面改質（酸化物還元、エッチング） - 洗浄
液晶用ガラス、ウェハーの洗浄
電子部品の洗浄 - 表面エッチング
有機物、レジストのエッチィング
装置概要
| ダイレクト方式 | リモート方式 |
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 ダイレクト方式 フィルム対応装置 |
 リモート方式 ガラス基板対応装置 |
