PFC回収・精製・再使用システム
PFC回収・精製・再使用システムは半導体、液晶製造工場で使用される温室効果ガス
（PFC：Per Fluoro Compounds）の排出削減対策の切り札です。
除害、代替ガスなどPFC排出削減手法はいくつかありますが、 PFCの排出削減は今後さらに厳しくなり、排出削減だけでなく使用、生産まで制限されることが予想されます。
これに対応できるのは『回収・精製・再使用』だけです。
【特長】
- 世界で唯一商品化に成功
- 回収ガスの純度99.999%以上を達成、製造プロセスでの再利用がオンサイトでできる
- 精製・再使用だけでなくPFCの使用環境に合わせて最適なシステムプランを提案
1. 回収・充填システム
2. 回収・除害システム
3. 回収・再使用システム
4. 回収・精製・再使用システム
PFC回収精製再使用システムの例
小流量タイプ
