CMPスラリー調合供給システム－MegaFlow™－
エア・ウォーターは米国Celerity,Inc.との間でCMPスラリー調合供給システム（Megaブランド）のライセンシング契約を06年4月に行い、国内でのデモ評価、開発及び製造体制を充実しました。
【特徴】
1. スラリー性状の安定供給（スラリー粒子の凝集レス供給）
・磁気ベアリング遠心ポンプ（Magniflo™ ポンプ ）、調合供給タンク内加湿システム及びタンク自動洗浄の採用
・オリジナルなタンク攪拌システム（Cujet™ノズル）の採用
2. 365日、24時間の安定稼動
・調合・供給タンクユニット、供給ポンプ及びグローバルループの２重化構成の採用
3. 各種CMPアプリケーションに対応した製品ラインナップ
・スラリー・薬液調合供給装置
・CMP装置直前混合装置（Dynablend™）
・過酸化水素水等の自動濃度滴定測定・補充装置
・過硫酸アンモ二ウム等の粉末調合供給装置
4. ワールドワイドでの豊富な実績
・納入実績はワールドワイドで450システム
CMPスラリー調合供給装置
MegaFlow™VII
