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技術のご紹介

半導体関連技術

高純度アンモニア

  • 高純度窒素ガス製造等で培った技術を駆使し、コークス炉ガスから製造した工業用アンモニアを原料とし、高純度アンモニアを製造・供給致します。
  • 青色レーザー、白色LED向けから半導体、液晶窒化膜、太陽電池向けまで幅広く対応致します。
純度 99.999%~99.99999%
標準荷姿 容積 47L 930L 1860L
充填量 25kg 500kg 1000kg
外形概寸 ø242mm×
L1370mm
ø788mm×
L2495mm
ø963mm×
L3275mm
材質 Mn鋼もしくはSUS304 SUS316L SUS316L
内面粗さ 1S程度
口ねじ形状 W22mm-14山 左もしくは右ねじ

高純度アンモニア製造プラント

高純度アンモニア製造プラント