研究開発

近年の研究開発成果

新規材料技術
GaN パワーデバイス・
高輝度LED用基盤
3C-Sic on Si ヘテロエピウェーハ

エア・ウォーターのGaN(窒化ガリウム)用基板である3C-SiC(111)ヘテロエピタキシャルウェーハは、シリコンウェーハ上に独自の「エピタキシャル成膜技術」を用いてSiCをヘテロエピタキシャル成長させた、GaNの成長に適した基板です。同技術は、長年に渡って研究開発を続けてきた超高純度ガスの応用技術であり、これにより大面積かつ安価なSiC成膜技術の開発に成功しました。
同基板はGaNパワーデバイスおよびGaN LED向けにバッファ層を簡略化でき、かつ市販のシリコンウェーハを用いるため、2インチから大口径8インチまでの幅広く提供することができます。

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3C-SiC on Si ヘテロエピウェーハ

ガスプロセス技術
世界初のアルゴン併産タイプ
小型製造装置
高効率アルゴン回収型
液化ガスプラント「VSUA」

VSUシリーズの特殊型機である「VSUA」は、世界初となるアルゴン併産機能を持つ高効率小型液化ガスプラントです。
通常、アルゴンは空気中に約0.93%しか含まれていないため、大型プラントで大量の酸素・窒素を精製する際に併産する方式が一般的ですが、小型プラントであってもアルゴン生産のコストメリットを実現する世界最高レベルのアルゴン回収率を達成する精製装置の独自開発に成功しました。これを従来のVSUに付加することで、液化アルゴンの生産が可能な小型プラントの開発を実現しました。

低温機器技術
革新的な長寿命化を実現
LNGにも適用可能に
竪型気液2室構造
液化ガス用遠心ポンプ「VCPシリーズ」

新型遠心ポンプ「VCPシリーズ」は、革新的な長寿命化に加えて、無漏洩化、小型・軽量化、低騒音化を実現した液化ガス用ポンプです。
この新型ポンプは、「モータ部」と「ポンプ部」がそれぞれ独立した「竪型気液2室構造」という独自構造の採用によって、従来のポンプと比べて約20~80倍のメンテナンスサイクルを実現したことで、24時間稼働のプラントプロセスにも適用が可能となっています。また、無漏洩化により可燃性ガスであるLNG(液化天然ガス)の分野にも新たに適用することが可能となっています。

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液化ガス遠心ポンプ「VCPシリーズ」

炭素材技術
エンジニアリングプラスチックに
適用可能な難燃剤
ノンハロゲン難燃剤
高温熱膨張性黒鉛「MZ-285」

「高温膨張性黒鉛MZ-285」は、加熱により膨張し不燃層となって優れた保温・断熱特性を発揮するノンハロゲン難燃剤「熱膨張性黒鉛」の膨張開始温度を、220℃から285℃まで高めた製品であり、これの量産化体制を整えました。
「熱膨張性黒鉛」は、従来より発泡ウレタンの難燃剤に適した製品として、自動車や航空機、列車のシート材の難燃剤、窓枠・ドアのシーラント材として利用されてきましたが、この開発製品により高温処理が可能となったことで、成型加工温度の高いPBT(ポリエステル)やPC(ポリカーボネート)などのエンジニアリングプラスチックへの適用が可能となりました。

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難燃剤「モエヘンZ」

医療用ガス技術
国内唯一の薬事承認取得済み
吸入用NOガス
新生児肺高血圧症向け
一酸化窒素製剤「アイノフロー」

「アイノフロー」は、肺動脈が収縮した呼吸不全状態の改善に効果を持つ一酸化窒素製剤(NOガス)です。
エア・ウォーターでは、1993年より米国アイノ・セラピューティックス社との共同開発をスタートし、2002年に希少疾病用医薬品としての指定を受けた後、臨床試験をクリアし、従来にない新しいガス性医薬品として2008年に薬事承認を受けました。その後、名古屋大学医学部附属病院での初の臨床使用を経て、現在では、総合周産期母子医療センターや新生児特定集中治療室(NICU)を持つ全国の医療機関への導入が進んでいます。

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一酸化窒素製剤「アイノフロー」

エネルギー機器技術
国内初のLPガス発電燃料式
移動電源車
100kW発電タイプ
LPガス仕様 移動電源車

「LPガスを発電燃料とした移動電源車」の開発は、国内においてはエア・ウォーターが初めてとなります。
この電源車の最大の特長は、緊急災害時においても発電燃料(LPガス)の確保が容易という点にあり、最大発電能力は一般世帯40世帯に相当する100kWを有しています。また、非常用電源としても役立てられることから、自治体や病院、一般企業などに向けて、多様なラインアップでお客様のニーズにお応えしていきます。


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LPガス仕様 移動電源車