事業・製品 産業ガス関連事業

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産業ガス

特殊化学品

特殊化学品の用途

特殊化学品とは、半導体LED・レーザーダイオードなどを中心とするエレクトロニクス製造プロセスにて使用される特殊なケミカル材料です。一般的な産業ガスとは異なり、絶縁膜形成やドーピング、精密洗浄などのプロセスにおいて、それぞれの材料のみが持つ特徴的な性質を発揮することで、半導体・エレクトロニクスの高度化に貢献しています。

エア・ウォーターでは、エアープロダクツ社ならびにSAFC Hitechと供給契約を結び、国内のつくば特殊化学品センターで充填、品質管理のもと、全国のお客様にお届けしています。

高純度化学品(シューマッカー製品)

エアープロダクツ社の代表的な高純度化学品ブランドである「シューマッカー」は、半導体製造におけるさまざまなプロセスに不可欠な製品として、世界各地の半導体工場で使用されています。
エア・ウォーターでは、ドーピング工程で使用されるオキシ塩化リン(POCI3)などの基本的なケミカル製品をはじめ、絶縁工程、CVD工程などさまざまなプロセスで使用される最先端の高純度化学品を幅広く取り揃えています。また、お客様の工場でケミカル製品を最適にご使用いただくための供給システムについても提案しています。

酸化/チューブ洗浄工程 Trans-LC®
ドーピング/拡散工程 オキシ塩化リン(POCI3)
絶縁膜 テトラエトキシシラン(TEOS)
ジエチルシラン(LTO-410TM
(ビスタ-シャルブチルアミノ)シラン(BTBAS)
配線 テトラキスジメチルアミノチタン(TDMAT)
四塩化チタン(TiCI4)
キャプラセレクト(CupraSelect®
High-kキャパシタ・ゲート絶縁膜 ハフニウムタートブトキサイド(HtB)
Low-k絶縁膜 トリメチルシラン(Z3MS)
テトラメチルシラン(Z4MS)
ジエトキシメチルシラン(DEMS/P-DEMS)

有機金属材料(SAFC Hitech製品)

SAFC Hitechが提供する有機金属材料は半導体を製造するために必要な特殊化学品です中でもLEDレーザーダイオードや高周波デバイスなどの化合物半導体用の有機金属材料は、国内の移充填工場における厳重な品質管理のもと、小型容器からバルク容器まで幅広い携帯による供給が可能です。また、シリコン半導体用の有機金属材料においても、お客様のニーズに合わせた特殊材料を取り扱っています。

化合物半導体 トリメチルガリウム(TMG)、トリエチルガリウム(TEG)
トリメチルアルミニウム(TMA)
トリメチルインジウム(TMI)
ジエチル亜鉛(DEZ)、ジメチル亜鉛(DMZ)
ドーパント材料 ほか
シリコン半導体 キャパシタ絶縁膜材料
High-kゲート絶縁膜材料
強誘電体材料
メタルゲート材料
バリアメタル材料
その他各種用途向け有機金属材料

SDソリューション

エア・ウォーターでは、長年培ってきた有機合成技術と成膜技術を駆使して、材料の設計段階からお客様のアプリケーション適用にお応えできるSD(合成/成膜:Synthesis and Deposition)ソリューションを提案しています。

サービスの特長

SDソリューションの技術メリットは、「Small scale Development(小規模開発)」が行うことができる点にあります。材料合成は数十グラムの合成にとどめ、成膜評価も2inch以下のウェハーを使用するため、実験に用いる資材をミニマム化することができます。これにより、フィジリティースタディーやスクリーニング試験を低コストでスピーディーに実施することが可能です。

所有装置
  • サーマルALD(CVD)
  • プラズマALD
  • 真空蒸着装置
  • スパッター装置
  • 蒸気圧測地装置
  • X線回析装置
  • 原子間力顕微鏡
  • 電子顕微鏡
  • エリプソメーター ほか

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