事業・製品 産業ガス関連事業

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ガス回収装置

水素回収・精製装置

工場排ガスや炭化水素の改質ガスを回収・精製

水素は、カーボンフリーなエネルギーであることから、地球温暖化を抑制可能な燃料として注目を集めており、工場排ガスや炭化水素の改質ガスを回収・精製することで取り出されます。
エア・ウォーターの水素回収・精製装置は、対象ガス中の不純物である二酸化炭素や一酸化炭素、炭化水素などを吸着剤にて除去し、99.99%以上の高純度水素として再利用することができます。

回収方式/特長

回収方式 吸着分離方式

原料ガスは、圧縮機にて所定の圧力まで昇圧した後、不純物除去に適した吸着剤を充填した吸着塔に供給され、不純物を吸着除去することで製品水素を送出します。吸着終了後は、吸着塔を真空ポンプで減圧することで、吸着剤から不純物を脱着させます。複数の吸着塔を交互に使用することで、製品水素の連続的な送出が可能です。

用途

  • 半導体ラインのキャリアプロセス
  • 製鉄所の連続焼鈍
  • 化学工場の合成プロセス ほか

仕様

流量タイプ 100 Nm³/h以下 200 Nm³/h 400 Nm³/h 500 Nm³/h以上
純度 99.99%以上
圧力 0.60 ~ 0.95 MPaG

システムフロー

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