事業・製品 産業ガス関連事業

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ガス回収装置

アルゴン回収・精製装置

工場の排アルゴンから不純物を除去し高純度アルゴンとして再利用

シリコンの製造プロセスなどから排出されるアルゴンには、酸素、窒素、水素などの不純物が含まれており、通常は再利用されず、そのまま大気へ放出されています。
エア・ウォーターのアルゴン回収・精製装置は、回収した排アルゴンを圧縮機で昇圧し、常温精製ユニットと精留塔でガス不純物を除去することで、再利用可能な高純度アルゴンガスを供給することが可能です。

回収方式/特長

回収方式 深冷分離方式

高純度窒素ガス発生装置「V1」をはじめとしたVシリーズの技術思想を継承し、液化窒素注入方式、ノンフロン化、特殊真空断熱などの採用により、低環境負荷のプロセス設計にて製品アルゴンを取り出すことができます。

信頼性の追及
  • 液体窒素により冷熱供給を行うことで、熟練した運転管理を要する膨張タービンを要しないプロセスを実現
高性能の追求
  • 電力原単位、寒冷源(液体窒素)の消費量を低減

    原料ガス冷却プロセスの削除   高効率熱交換器の採用   特殊真空断熱コールドボックスの採用
環境負荷の低減
  • 高効率吸着システムの導入により、常温精製ユニットからフロン冷凍機削除(ノンフロン化)

用途

  • シリコン単結晶の引上炉
  • 鉄鋼業のRH炉 ほか

アルゴン回収事例

組成 O2 N2 H2 CO CO2 CH4 H2O 流量 回収率
製品
ガス
< 0.5 ppm < 0.5ppm < 0.5 ppm < 0.5 ppm < 0.5 ppm < 1 ppm < 1 ppm 300 Nm³/h > 95 %

システムフロー

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