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ガスアプリケーション

ドライアイススノー精密洗浄システム「QuickSnow(クイックスノー)」

ドライアイス微粒子でミクロンオーダーの異物を高精度に除去

ドライアイススノー精密洗浄システム「QuickSnow」は、液化炭酸ガスからドライアイス微粒子を生成し、これを高速で洗浄対象物に衝突させることで、精密部品や基板表面の有機物やパーティクルを除去します。
QuickSnowは乾式洗浄装置のため、従来方式の薬液洗浄や湿式洗浄のような薬液汚染や洗浄痕、液面張力による対象物の破壊といったリスクが無いことが大きな特長です。また、エアブローでは除去が難しい微粒子にも極めて良好に対応できるなど、ミクロンオーダーの異物に対して効果的な洗浄を、ドライプロセスで提供します。

使用ガス LCO2 液化炭酸ガス

洗浄原理

物理的作用
  • ドライアイススノーを高速噴射し洗浄対象物に衝突させ、異物微粒子を物理的に弾き飛ばすことが主たる洗浄原理です。
化学的作用
  • 炭酸ガス(液化炭酸ガス)の溶解性により、主に有機物を対象として洗浄します。

特長

  • ウェット環境を嫌う部品の洗浄に効果的
  • ドライプロセスのため乾燥工程が不要/廃水や廃液処理が不要
  • 被洗浄物へのダメージが小さい
  • ドライアイスの流速・粒径の制御により、用途に適した洗浄が可能
  • 噴射ガスの温度制御による温度衝撃(結露防止)フリー
  • 微細部の洗浄に好適

用途/洗浄対象

用途
  • パーティクル除去(サブミクロン~ミクロンオーダーまで対応可)
  • 有機物除去
洗浄対象
  • 半導体デバイス(イメージセンサーなど)
  • 電子部品(ハードディスクドライブ関連部品など)
  • FPD部品(ガラス基板、有機EL基板など)
  • 光学部品(光ファイバー、カメラレンズなど)
  • フィルム製造(製造装置ローラー、高機能フィルムなど)

噴射ノズル

QucikSnowは、使用する用途や方法に応じてさまざまなタイプの噴射ノズルを提案しています。

スポット型
複数ノズル型
広角型

システム構成例

インライン向け瞬時起動型QuickSnow

「インライン向け瞬時起動型」では、洗浄力を維持したまま瞬時起動ができるため、製造ラインに連動してスノー洗浄することが可能となっています。

型式名 QS‐1001
装置方式 インライン向け瞬時起動型
クリーン型QuickSnow

「クリーン型」では、3室構造、低発塵機器、ロボットでシステムが構成されており、半導体基板や光学部品、電子部品などの高クリーン度要求に対応したスノー洗浄を実現しています。

型式名 QS‐A1321F-R
装置方式 クリーン型

洗浄例

ミクロンオーダーの異物をドライ状態のまま洗浄することができます。

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